真空的概念和划分

根据不同的应用和常用真空泵及测量仪的有效范围，大致可将真空分为以下几个区域：

名称　　　　　　 粗真空　　　　 　低真空　　　　 　 高真空　　　　　   超高真空

压强范围　　　　105～1300　　　　1300～10-3　　　　 10-1～10-6　　　　  10-6～10-10

低真空常用机械泵获得，高真空则需由扩散泵来完成，电光源制品在高真空基础上进行才能保证良好品质。